GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级
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- 更新时间：2019-01-08
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资料介绍
GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。
本部分对以下事项未予考虑：
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。
本部分对以下事项未予考虑：