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GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

  • 文件大小：
  • 标准类型：
  • 标准语言：简体中文
  • 文件类型：PDF
  • 更新时间：2018-11-20
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资料介绍

本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω

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