GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
- 文件大小：
- 标准类型：
- 标准语言：简体中文
- 文件类型：PDF
- 更新时间：2017-11-24
- 下载次数：
- 标签：
资料介绍
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。
本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。