Q/ZMS 37-2023 化学气相沉积金刚石光学片透过率测定方法
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- 标准类型：企业标准
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2025-06-13
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资料介绍
以下是Q/ZMS(N) 037-2023标准《化学气相沉积金刚石光学片透过率测定方法》的核心内容总结：
一、范围
- 适用于CVD金刚石光学片在 200 nm~25,000 nm 波长范围内的光学透过率测定。
- 使用设备：
- 紫外-可见光-近红外分光光度计（200–2,500 nm）
- 傅里叶变换红外光谱仪（2,500–25,000 nm）
二、术语定义
- 透过率（Transmittance）：出射光通量与入射光通量的百分比比值。
三、测试原理
1. 分光光度计原理
- 光源经光调制器分为两路（样品光路/参考光路），交替照射探测器。
- 通过信号转换与计算机处理，获得波长-透过率曲线。
2. 傅里叶红外光谱仪原理
- 光源经迈克尔逊干涉仪调制为干涉光，透射样品后聚焦至探测器。
- 通过傅里叶变换得到红外透过率谱。
四、测试条件
- 环境要求：
- 温度：20–30℃（波动≤±2℃）
- 湿度：40%–70%
- 无污染物（灰尘、酸、有机蒸气），避免振动与热源干扰。
五、设备技术要求
| 设备 | 关键指标 |
|---|---|
| 紫外-可见光-近红外分光光度计 | - 波长范围：200–2,500 nm<br>- 透过率精度：±0.5%<br>- 波长不确定度：±0.5 nm（可见光区）<br>- 光束平行度：<2° |
| 傅里叶红外光谱仪 | - 波长范围：2,500–25,000 nm<br>- 透过率精度：±0.5%<br>- 光源需准直扩束 |
六、样品制备
- 样品要求：
- 表面粗糙度 Ra ≤ 10 nm，平面度 N=3，局部平面度 ΔN=0.5，平行度 < 2’。
- 厚度范围 0.1–2 mm，同批次厚度差 < 0.1 mm。
- 通光面需同盘抛光，无可见缺陷。
- 尺寸与数量：
- 尺寸大于通光孔径，至少2个平行样品。
七、测试步骤
1. 分光光度计流程
- 预热设备 → 设定参数（波长范围、扫描速度）→ 基线校准（误差≤0.5%）→ 放入样品 → 扫描测试 → 校验基线 → 保存数据。
2. 红外光谱仪流程
- 预热设备 → 设定参数（波数范围、分辨率）→ 测试空腔基线 → 放入样品 → 扫描测试 → 保存数据。
八、数据处理
- 导出波长-透过率曲线，每0.5 μm取1组数据。
- 计算使用波长范围内的算术平均透过率。
- 大尺寸样品需测试多点，分析透过率均匀性。
九、测试报告内容
包含以下必要信息（格式见附录A）：
- 样品标识与规格
- 参照标准（GB/T 7962.12-2010、GB/T 36403-2018）
- 测试方法及设备
- 环境参数（温湿度）
- 测试波长及对应透过率数据
- 波长范围与算术平均透过率
- 测试日期、单位、人员签字及公章
十、首次发布与归口
- 首次发布：2023年
- 提出与归口单位：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
- 起草单位：功能金刚石部（主要起草人：曹博伦等6人）
总结特点：
- 覆盖 紫外至远红外 全波段，双设备协同测试。
- 严控 环境条件 与 样品制备精度（纳米级粗糙度）。
- 强调 基线校准 与 数据重复性（精度±0.5%）。
- 报告格式标准化，确保结果可追溯。
此标准为CVD金刚石光学片的透过率检测提供了系统性、高精度的操作方法规范。