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GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

  • 文件大小：
  • 标准类型：
  • 标准语言：简体中文
  • 文件类型：PDF
  • 更新时间：2006-01-08
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资料介绍

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
　　本标准适用于室外温电阻率大于0.1Ω

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