超清版 GB/T 43977-2024 电子气体 八氟环丁烷
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- 更新时间：2025-03-19
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资料介绍
ICS71.100.20
CCS G 86
中华人民共和国国家标准
GB/T43977—2024
电子气体 八氟环丁烷
Electronicgas—Octafluorocyclobutane
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会发布
前 言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请 注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、山东非金属材料研究所、中船
(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、浙江巨化技
术中心有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司、福建久策气体股份有限公
司、金宏气体股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、杭州德成科技服务有限公司、浙江解氏新材
料股份有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、中国计量大学、浙江省标准化研究院、西南化工研究设计
院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限
公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压
力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限
责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。
本文件主要起草人:史婉君、王娟、罗霞、胡迎、付梦月、白占旗、鬲春利、荀其宁、张文申、许峰、柳彤、
张长金、傅铸红、陈艳珊、马建修、叶鹏飞、褚人财、颜光清、廖恒易、禹金龙、何经余、曹素英、王新喜、
孙猛、沈益军、肖世豪、洪倩、石林、刘亮、郑新权、邱雅惠、万娟秀、朱明、徐龙、李威、张朋越、陈洁、吴靓、
方华、王昭彬、黄小强、唐中伟、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、周鹏云、李光雅、
张鹏。
1 范围
本文件规定了电子级八氟环丁烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息,描述了
相关的试验方法。
本文件适用于由工业八氟环丁烷提纯制备的电子级八氟环丁烷。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T601 化学试剂 标准滴定溶液的制备
GB/T603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶
GB/T5100 钢质焊接气瓶
GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB/T6682 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T7144 气瓶颜色标志
GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T14193 液化气体气瓶充装规定
GB15258 化学品安全标签编写规定
GB/T16804 气瓶警示标签
GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶
TSG07 特种设备生产和充装单位许可规则
TSG23 气瓶安全技术规程
TSGR0005 移动式压力容器安全技术监察规程
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4 技术要求
八氟环丁烷的技术要求应符合表1的规定。
1
GB/T43977—2024
表1 技术要求
项目要求
八氟环丁烷(C4F8)纯度(体积分数)/10-2 ≥99.999
(氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6 <1
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 <2
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 <0.5
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 <0.5
六氟丙烯(C3F6)含量(体积分数)/10-6 <5
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 <2
酸度(以HF计)含量(质量分数)/10-6 <0.1
杂质总含量(体积分数)/10-6 ≤10
5 试验方法
警告———本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况,使用者应采取适当的安全和健康防护
措施。
5.1 一般规定
试验方法所用试剂和水在没有注明其他要求时,均指确认为分析纯的试剂和GB/T6682中规定的
三级水。试验方法所用标准溶液、制剂及制品,在没有注明其他要求时,均按GB/T601、GB/T603的
规定制备。
5.2 氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳及六氟丙烯含量
5.2.1 测定方法
按GB/T28726规定的切割(除)进样的方法测定八氟环丁烷中的氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳
及六氟丙烯含量。
允许采用其他等效的方法测定八氟环丁烷中的氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳及六氟丙烯含量。
当对测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。
5.2.2 预分离柱
预分离柱Ⅰ:长约2m、内径约3mm 的不锈钢管,内装粒径为0.15mm~0.18mm 的一种改性碳
分子筛(CST),或其他等效预分离柱。
预分离柱Ⅱ:长约5m、内径约3mm 的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的一种高分子
聚合物(PorapakQ),或采用其他等效预分离柱。
5.2.3 色谱柱
色谱柱Ⅰ:长约3m、内径约3mm 的不锈钢管,内装粒径为0.15mm~0.18mm 的5A 分子筛,或
其他等效色谱柱。该柱用于测定氧+氩、氮、一氧化碳含量。
色谱柱Ⅱ:长约7m、内径约3mm 的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的一种高分子聚
2
GB/T43977—2024
合物(PorapakQ),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳、六氟丙烯含量。
CCS G 86
中华人民共和国国家标准
GB/T43977—2024
电子气体 八氟环丁烷
Electronicgas—Octafluorocyclobutane
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会发布
前 言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请 注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、山东非金属材料研究所、中船
(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、浙江巨化技
术中心有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司、福建久策气体股份有限公
司、金宏气体股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、杭州德成科技服务有限公司、浙江解氏新材
料股份有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、中国计量大学、浙江省标准化研究院、西南化工研究设计
院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限
公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压
力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限
责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。
本文件主要起草人:史婉君、王娟、罗霞、胡迎、付梦月、白占旗、鬲春利、荀其宁、张文申、许峰、柳彤、
张长金、傅铸红、陈艳珊、马建修、叶鹏飞、褚人财、颜光清、廖恒易、禹金龙、何经余、曹素英、王新喜、
孙猛、沈益军、肖世豪、洪倩、石林、刘亮、郑新权、邱雅惠、万娟秀、朱明、徐龙、李威、张朋越、陈洁、吴靓、
方华、王昭彬、黄小强、唐中伟、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、周鹏云、李光雅、
张鹏。
1 范围
本文件规定了电子级八氟环丁烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息,描述了
相关的试验方法。
本文件适用于由工业八氟环丁烷提纯制备的电子级八氟环丁烷。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T601 化学试剂 标准滴定溶液的制备
GB/T603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶
GB/T5100 钢质焊接气瓶
GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB/T6682 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T7144 气瓶颜色标志
GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T14193 液化气体气瓶充装规定
GB15258 化学品安全标签编写规定
GB/T16804 气瓶警示标签
GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶
TSG07 特种设备生产和充装单位许可规则
TSG23 气瓶安全技术规程
TSGR0005 移动式压力容器安全技术监察规程
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4 技术要求
八氟环丁烷的技术要求应符合表1的规定。
1
GB/T43977—2024
表1 技术要求
项目要求
八氟环丁烷(C4F8)纯度(体积分数)/10-2 ≥99.999
(氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6 <1
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 <2
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 <0.5
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 <0.5
六氟丙烯(C3F6)含量(体积分数)/10-6 <5
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 <2
酸度(以HF计)含量(质量分数)/10-6 <0.1
杂质总含量(体积分数)/10-6 ≤10
5 试验方法
警告———本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况,使用者应采取适当的安全和健康防护
措施。
5.1 一般规定
试验方法所用试剂和水在没有注明其他要求时,均指确认为分析纯的试剂和GB/T6682中规定的
三级水。试验方法所用标准溶液、制剂及制品,在没有注明其他要求时,均按GB/T601、GB/T603的
规定制备。
5.2 氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳及六氟丙烯含量
5.2.1 测定方法
按GB/T28726规定的切割(除)进样的方法测定八氟环丁烷中的氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳
及六氟丙烯含量。
允许采用其他等效的方法测定八氟环丁烷中的氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳及六氟丙烯含量。
当对测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。
5.2.2 预分离柱
预分离柱Ⅰ:长约2m、内径约3mm 的不锈钢管,内装粒径为0.15mm~0.18mm 的一种改性碳
分子筛(CST),或其他等效预分离柱。
预分离柱Ⅱ:长约5m、内径约3mm 的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的一种高分子
聚合物(PorapakQ),或采用其他等效预分离柱。
5.2.3 色谱柱
色谱柱Ⅰ:长约3m、内径约3mm 的不锈钢管,内装粒径为0.15mm~0.18mm 的5A 分子筛,或
其他等效色谱柱。该柱用于测定氧+氩、氮、一氧化碳含量。
色谱柱Ⅱ:长约7m、内径约3mm 的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的一种高分子聚
2
GB/T43977—2024
合物(PorapakQ),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳、六氟丙烯含量。