超清版 GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯
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- 标准类型：电子信息
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2025-03-19
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资料介绍
ICS31.030
CCS L90
中华人民共和国国家标准
GB/T43965—2024
电子级正硅酸乙酯
Electronicgradeethylorthosilicate
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会发布
前 言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请 注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有
限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、
浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子
材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有
限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司。
本文件主要起草人:孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、
陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、
张明英。
1 范围
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输
及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。
本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T191 包装储运图示标志
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T3143 液体化学产品颜色测定法(Hazen单位———铂-钴色号)
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶
GB/T6680 液体化工产品采样通则
GB/T7144 气瓶颜色标志
GB/T11446.1 电子级水
GB/T14193 液化气体气瓶充装规定
GB15258 化学品安全标签编写规定
GB/T16804 气瓶警示标签
GB/T25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T26793 库仑法微量水分测定仪
GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶
GB/T37837 四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则
SJ/T11637 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
SJ/T11638 电子化学品中颗粒的测试方法
TSG23 气瓶安全技术规程
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4 技术要求
电子级正硅酸乙酯应符合表1的规定。
1
GB/T43965—2024
表1 技术指标要求
项目
指标要求
光伏用(6N) 平板显示用(8N) 集成电路用(9N)
正硅酸乙酯纯度[Si(OC2H5)4]/10-2 ≥99.90 ≥99.95 ≥99.99
阳离子含量
硼(B)含量/(μg/kg)
铝(Al)含量/(μg/kg)
锑(Sb)含量/(μg/kg)
砷(As)含量/(μg/kg)
钡(Ba)含量/(μg/kg)
铍(Be)含量/(μg/kg)
铋(Bi)含量/(μg/kg)
镉(Cd)含量/(μg/kg)
钙(Ca)含量/(μg/kg)
铈(Ce)含量/(μg/kg)
铬(Cr)含量/(μg/kg)
钴(Co)含量/(μg/kg)
铜(Cu)含量/(μg/kg)
镓(Ga)含量/(μg/kg)
锗(Ge)含量/(μg/kg)
金(Au)含量/(μg/kg)
铪(Hf)含量/(μg/kg)
铟(In)含量/(μg/kg)
铱(Ir)含量/(μg/kg)
铁(Fe)含量/(μg/kg)
铅(Pb)含量/(μg/kg)
锂(Li)含量/(μg/kg)
镁(Mg)含量/(μg/kg)
锰(Mn)含量/(μg/kg)
汞(Hg)含量/(μg/kg)
钼(Mo)含量/(μg/kg)
镍(Ni)含量/(μg/kg)
铌(Nb)含量/(μg/kg)
钯(Pd)含量/(μg/kg)
铂(Pt)含量/(μg/kg)
钾(K)含量/(μg/kg)
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CCS L90
中华人民共和国国家标准
GB/T43965—2024
电子级正硅酸乙酯
Electronicgradeethylorthosilicate
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会发布
前 言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请 注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有
限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、
浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子
材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有
限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司。
本文件主要起草人:孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、
陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、
张明英。
1 范围
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输
及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。
本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T191 包装储运图示标志
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T3143 液体化学产品颜色测定法(Hazen单位———铂-钴色号)
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶
GB/T6680 液体化工产品采样通则
GB/T7144 气瓶颜色标志
GB/T11446.1 电子级水
GB/T14193 液化气体气瓶充装规定
GB15258 化学品安全标签编写规定
GB/T16804 气瓶警示标签
GB/T25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T26793 库仑法微量水分测定仪
GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶
GB/T37837 四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则
SJ/T11637 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
SJ/T11638 电子化学品中颗粒的测试方法
TSG23 气瓶安全技术规程
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4 技术要求
电子级正硅酸乙酯应符合表1的规定。
1
GB/T43965—2024
表1 技术指标要求
项目
指标要求
光伏用(6N) 平板显示用(8N) 集成电路用(9N)
正硅酸乙酯纯度[Si(OC2H5)4]/10-2 ≥99.90 ≥99.95 ≥99.99
阳离子含量
硼(B)含量/(μg/kg)
铝(Al)含量/(μg/kg)
锑(Sb)含量/(μg/kg)
砷(As)含量/(μg/kg)
钡(Ba)含量/(μg/kg)
铍(Be)含量/(μg/kg)
铋(Bi)含量/(μg/kg)
镉(Cd)含量/(μg/kg)
钙(Ca)含量/(μg/kg)
铈(Ce)含量/(μg/kg)
铬(Cr)含量/(μg/kg)
钴(Co)含量/(μg/kg)
铜(Cu)含量/(μg/kg)
镓(Ga)含量/(μg/kg)
锗(Ge)含量/(μg/kg)
金(Au)含量/(μg/kg)
铪(Hf)含量/(μg/kg)
铟(In)含量/(μg/kg)
铱(Ir)含量/(μg/kg)
铁(Fe)含量/(μg/kg)
铅(Pb)含量/(μg/kg)
锂(Li)含量/(μg/kg)
镁(Mg)含量/(μg/kg)
锰(Mn)含量/(μg/kg)
汞(Hg)含量/(μg/kg)
钼(Mo)含量/(μg/kg)
镍(Ni)含量/(μg/kg)
铌(Nb)含量/(μg/kg)
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