GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅
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- 标准类型：电子信息
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2023-09-15
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资料介绍
本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SiHCl 3）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅。
替代GB/T 30652-2014
本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅。
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