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GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

  • 文件大小：6.3 MB
  • 标准类型：电子信息
  • 标准语言：中文版
  • 文件类型：PDF文档
  • 更新时间：2023-09-09
  • 下载次数：
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资料介绍

本文件描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。
本文件适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。

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