GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
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- 标准类型：电子信息
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2023-09-07
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资料介绍
本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。
本文件适用于室温电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围(以原子数计)为2.5×1014 cm-3~1.5×1017 cm-3。
替代GB/T 35306-2017
本文件适用于室温电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围(以原子数计)为2.5×1014 cm-3~1.5×1017 cm-3。
替代GB/T 35306-2017