T/IAWBS 014-2021 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法

本文件规定了碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法。
本文件适用于晶面偏离{0001}面角度为0°～8°的碳化硅单晶抛光片的位错密度的测试。