JC/T 2342-2015 氮化硅材料相含量分析方法

本标准规定了X射线多晶衍射法测定氮化硅材料相含量的术语和定义、仪器、测试步骤及定量分析方法。
本标准适用于氮化硅中α相和β相的定量分析。