SJ 21498-2018 声表面波器件镀膜工艺技术要求

本标准规定了声表面波器件镀金属膜工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及声表面波器件镀金属膜」_艺的典型工艺流程、各土序技术、检验等详细要求。
本标准适用于军用声表面波器件的电子束蒸发和磁控溅射镀金属膜工艺。